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    GSL-1200X雙溫區臥式開啟式管式爐
    管式爐    瀏覽:7120    日期:2014/10/18    <<Back
    GSL-1200X雙溫區臥式開啟式管式爐
    溫區:    單溫區電爐    
    溫度:    室溫-1100℃        室溫-1400℃    

      GSL-1200X雙溫區管式電爐是一個特殊的雙管CVD系統,專門為在金屬箔上生長薄膜而設計,特別是應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究,通過滑動爐子實現快速加熱和冷卻。

     
    特點: 
    1.雙石英管:外管直徑100mm ,懸掛的內管直徑 80. 金屬箔纏繞在內管的外表面上發生CVD反應。
    2.雙管的真空密封法蘭:允許反應氣體通過兩管之間(10mm間隙)發生反應,冷卻氣體直接通入內管.
    3.四通道質量流量計控制4路氣體。
    4.配有KF25快接和波紋管的高速機械泵。
    5.爐子底部裝有滑軌:爐子可以從一端滑向另一端,從而實現快速升溫和降溫.

    技術參數
    爐體結構 
    高純 Al2O3保溫材料,保證了爐膛有極好的溫度均勻性.
    內爐膛表面涂有美國進口的1750度高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命
    爐子底部的冷卻風扇保證了熱量正常對外釋放.
    密封法蘭系統全不銹鋼制作。
    電源 電源:208-240VAC,  50/60Hz, 單相,  2.5KW ( 20A 保險絲)
    加熱溫度 
    最高溫度: 1100°C
    連續溫度: 1000°C
    加熱區 
    加熱區長度: 440mm
    恒溫區長度: 120mm (±1°C) @400~1100°C
    選擇:  
    雙溫區爐可獲得t 240mm 的恒溫區
     
     
    加熱和冷卻速度 最快的加熱和冷卻速度跟工作溫度有關, 
    ( 在使用爐子之前,要校準工作溫度和加熱、冷卻速度 )


    加熱 冷卻
    石英管 外管:     OD: 4"x ID: 3.8"X55" Length        (OD100 x ID 96 x 1400, mm )
    內管:        OD:3.15: x ID x 2.95" x 55" Length  (OD80 x ID 75 x 1800 mm )
    真空法蘭 
    一對 SS304不銹鋼法蘭,通過用兩個高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空。
    爐子底部裝有一對滑軌
    爐子可以手動從一端滑向另一端,實現快速的加熱和冷卻。
    為了得到較快的加熱速度,可以先將爐子預熱,然后滑到放置樣品的位置。
    為了獲得較快的冷卻的速度,把爐子滑向另一端,同時將冷卻氣體通入 樣品所在的位置。
        
    極限真空度: 10^-2 torr (機械泵)  10^-5 torr (分子泵)
    可選鄭州科晶公司進口的防腐型數字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換。

    溫控儀 溫控儀:帶超溫保護和PID調節的 30 段程序控制。
    控溫精度: +/-1°C
    混氣系統 4路精密質子流量計:數字顯示、氣體流量自動控制.
    MFC 1范圍:  0~100 sccm
    MFC 2范圍:  0~200 sccm
    MFC 3范圍:  0~200 sccm
    MFC 4范圍:  0~500 sccm
    氣路: 4 路
    流量精度: 0.2%
    進氣和出氣接口: 1/4" 卡套
    一個混氣罐.
    每路氣路都有一個獨立的不銹鋼針閥控制。 
    通過控制面板上的旋鈕來調節氣體流量
    真空泵安裝在移動架底部的機械泵,真空度達 10-3 Torr.
    真空泵與手動擋板閥之間用KF25 快接與不銹鋼波紋管連接 .
    數字真空表安裝在一端的法蘭上.

    選擇: 可以配分子泵,真空度達 10-5 Torr    

    尺寸(mm) 爐體: 550 x 380 x 520
    移動架: 600x600x597
    凈重 300 lb
    保修期 一年質保期 (耗材:如爐管,“O”型圈,和加熱元件等不在保修范圍內)
    質量認證:

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